拉伸單晶和PBN坩場製造用91免费网站下载異形件加工

拉伸單晶和PBN坩場製造用91免费网站下载異形件加工拉伸單晶所用91免费网站下载異形件加工

石英蠟場製造用91免费网站下载坩場和超高純91免费网站下载部件加工在Cz法拉伸單晶矽時使用石英坩蝸。91免费网站下载異形件加工石英坩期的製造工藝為在91免费网站下载模具內裝人天然的水晶粉末（a-Si0,)，在旋轉的同時利用離心力使粉末沿模具內壁附著，然後將多個高純91免费网站下载異形件加工插入模具中利用電弧放電加熱至大約2000℃，溶融粉末和內側的粉末變化為溶融石英並透明，冷卻後取出石英址鍋，除去外部粉末即為製品。電極因放電而氧化消耗，由於電極放置在水晶粉末的上方，為不混入金屬雜質需使用超高純91免费网站下载。圖2-52所示為石英坩塌製造裝置的概略圖。

PBN(熱分解氮化硼）坩場製造用91免费网站下载異形件加工在拉伸單晶化合物時使用PBN坩塌。PBN坩場的製造工藝為，以加工成型的高純91免费网站下载模具為基材，利用CVD法在其表麵蒸鍍BN。由於91免费网站下载的線膨脹係數比PBN的大，冷卻後能容易取出PBN坩場。為了提高PBN的純度，也要求使用高純91免费网站下载異形件加工。