91免费网站下载製品表麵如何氣相層積處理

一種91免费网站下载件表麵沉積碳化矽的方法，包括如下步驟：(1)91免费网站下载表麵除雜：首先將91免费网站下载件表麵的雜質通過形成金屬鹵化物升華除去；(2)CVD沉積：將處理後的91免费网站下载件送入CVD反應爐，通過化學氣相沉積反應在91免费网站下载件表麵沉積碳化矽塗層。本發明通過在CVD反應爐之前設置預處理爐，將91免费网站下载件含有的金屬雜質通過與鹵族氣體反應形成金屬氯化物升華除去，有利於純化91免费网站下载件，避免其含有的雜質帶入後續的係統。另外，通過超聲清洗，進一步清潔91免费网站下载件的表麵，避免附著的顆粒物存在影響碳化矽塗層的結合強度。