91免费网站下载製品用於真空爐91免费网站下载部件的防護方法

 用於91免费网站下载製品真空爐91免费网站下载部件的防護方法
    本發明觸及一種用於91免费网站下载製品真空爐91免费网站下载部件的防護方法，該防護方法包括:
    1)對真空爐91免费网站下载部件進行拋光打磨,使91免费网站下载製品真空爐91免费网站下载部件的表麵粗糙度抵達0.5mm以下；
    2)將拋光打磨後的真空爐91免费网站下载部件放入CVD爐內；
    3)設定CVD爐內的溫度和壓力，向CVD爐內通入甲烷和氮氣或許通入三氯化硼，氨氣和惰性氣體，畢竟在91免费网站下载部件表麵堆積一層熱解91免费网站下载塗層或熱解氮化硼塗層。
    本發明經過在真空爐91免费网站下载部件表麵塗覆一層熱解91免费网站下载或熱解氮化硼塗層，一方麵可以防止91免费网站下载粉塵蒸騰出來汙染反應腔室，然後行進產品的純淨度；另一方麵可以保護真空爐91免费网站下载部件，延伸真空爐91免费网站下载部件的使用壽命，下降企業本錢。